L'AIST* a développé un dispositif permettant en théorie de fabriquer n'importe quel type de microsystème électromécanique ou MEMS, ceci même en faible quantité. L'institut a pour cela remplacé le silicium par des métaux inoxydables, évitant ainsi l'utilisation de gros équipements servant à la manufacture des semi-conducteurs. Le système est composé de quatre presses de petite taille, d'un appareil permettant de fabriquer des membranes fines en céramique à température ambiante et d'un système de dépôt d'interconnexions métalliques utilisant la technologie jet d'encre. Ceci permet de produire toutes sortes de MEMS même en petite quantité d'où le nom donné "On-demand factory system for MEMS" (système d'usinage à la demande pour MEMS).
Des tests réalisés sur des lecteurs optiques ont démontré que les éléments fabriqués par ce nouveau processus sont de meilleure qualité que ceux utilisant du silicium. Le temps d'usinage d'un lecteur optique ne dépasse pas une minute. L'appareil utilisé occupe une superficie de 10 m2 ce qui permet un gain d'énergie et de place.
Les MEMS étant utilisés dans de nombreux domaines (automobile, aéronautique, biotechnologies, télécommunications, ...) ainsi qu'ayant des applications dans des produits de la vie quotidienne (lecteurs optiques, airbags, téléviseurs HD, ...), la diffusion d'un tel système de production devrait être rapide.
AIST: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
