L'office fédéral pour la technique et la physique (PTB) a développé un interféromètre de précision qui permettra une mesure absolue de tout changement de longueur en fonction de la température, du temps et de la pression ambiante.
Dans la métrologie de précision, les matériaux stables en température jouent un rôle extrêmement important. Les exigences maximales se trouvent dans la fabrication de composants servant pour la lithographie extrême ultraviolet (EUV) [1] (masques et miroirs réfléchissants). Ces objets sont fabriqués à base de substrats en matériaux high-tech (verres ou céramiques) possédant un coefficient de dilatation alpha [2] très petit (inférieur à 1E-8 K-1 [*]).
L'interféromètre, développé dans le but de déterminer de façon exacte les dimensions d'objets, permettra d'effectuer des mesures sur des échantillons de matériaux high-tech d'une longueur allant jusqu'à 400 mm, avec une précision de l'ordre du nanomètre. Sur de telles longueurs, le coefficient de dilatation peut se calculer avec une incertitude de 2E-10 K-1 [**]. En outre, l'appareil développé par le PTB devrait permettre l'obtention d'autres données quantitatives (telles que : homogénéité de la dilatation thermique, compressibilité, stabilité dans le temps des échantillons, etc.).
