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BE Irlande 31  >>  29/08/2008

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Micro/nanotechnologies
Détection des défauts dans les matériaux semiconducteurs

http://www.bulletins-electroniques.com/actualites/55811.htm

Le laboratoire de caractérisation des nanomatériaux (Nanomaterial Processing Laboratory) de Dublin City University a mis au point une nouvelle méthode non destructive pour analyser les propriétés et les défauts dans les matériaux des composants optiques et des semi-conducteurs.

Cette technologie baptisée Pampas combine un microscope photo-acoustique (PAM) qui détecte et localise les défauts du matériau (cavités ou délaminages) et un spectroscope photo-acoustique (PAS) qui mesure ses propriétés mécaniques (élasticité).

L'instrument balaye l'échantillon en l'analysant sur des zones de 30 micromètres de diamètre. La lumière émise par une source modulée est focalisée sur cette zone. Les impulsions lumineuses sont absorbées par le matériau et converties en chaleur qui se propage et interagit avec les défauts avant d'être retransmise au gaz en contact avec la surface du matériau. Les variations de température du gaz provoquent une pulsation de la pression qui est détectée et analysée pour révéler la structure en profondeur. En mode PAM, la lumière incidente est monochromatique et permet d'analyser plusieurs profondeurs, entre 1 micromètre et 1 millimètre, en fonction de la modulation. La taille des défauts mesurables est comprise entre 2 et 20 nanomètres. En mode PAS, la longueur d'onde de la lumière varie. La réponse spectrale permet de déterminer l'élasticité du matériau, sa thermo-élasticité, son coefficient d'absorption optique ou encore son gap électronique...

Cette technologie est commercialisée par la cellule de transfert et de valorisation de l'université.

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Pour en savoir plus, contacts :

NPL - DCU - http://elm.eeng.dcu.ie/~npl/

Code brève
ADIT :
55811

Source :

Technology Ireland, 05/08 - http://www.enterprise-ireland.com/Technology+Ireland/Current+Issue/

Rédacteur :

C. Lerouge

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Origine :

BE Irlande numéro 31 (29/08/2008) - Ambassade de France en Irlande / ADIT - http://www.bulletins-electroniques.com/actualites/55811.htm
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